Архив номеров

Методом математического моделирования исследуется влияние околокристального экрана на процессы гидрогазодинамики, переноса тепла и примесей при выращивании монокристаллов методом Чохральского. Для этого исследования выбрана компоновка теплового узла отечественной большегрузной установки Редмет-90М, позволяющей выращивать монокристаллы диаметром 200 мм и длиной до 1.5 м. Ростовой процесс происходит в условиях прокачки аргона в разреженной атмосфере теплового узла. Высокотемпературный нагрев обеспечивает плавление расплава кремния в тигле и его кристаллизацию путем вытягивания монокристалла по Чохральскому. Математическая модель учитывает в сопряжении процессы теплообмена и переноса моноокиси кремния. Рассматривается воздействие околокристального экрана на осевое распределение температуры в выращиваемом монокристалле, которое при условии его бездислокационности характеризует тип образующихся собственных точечных дефектов. Обсуждаются результаты международного теста по влиянию околокристального экрана на осевое распределение температуры в тепловом узле установки EKZ-1300. Приводятся данные технологического теста в тепловом узле установки EKZ-1600ЭЛМА, которые иллюстрируют применение теории дефектообразования Воронкова В.В.