Механика твердого тела (о журнале) Механика твердого тела
Известия Российской академии наук
 Журнал основан
в январе 1966 года
Выходит 6 раз в год
ISSN 1026-3519

Русский Русский  English English  О журнале | Номера | Для авторов | Редколлегия | Подписка | Контакты
 


Архив номеров

Для архивных номеров (2007 г. и ранее) полные тексты статей pdf доступны для свободного просмотра и скачивания.

Статей в базе данных сайта: 11223
На русском (Изв. РАН. МТТ): 8011
На английском (Mech. Solids): 3212

<< Предыдущая статья | Год 2020. Номер 1 | Следующая статья >>
Гостева Е.А., Рубцова К.И., Силина М.Д., Старков В.В. Формирование градиентно-пористых структур кремния с вариативной морфологией пор // Изв. РАН. МТТ. 2020. № 1. С. 124-129.
Год 2020 Том   Номер 1 Страницы 124-129
DOI 10.31857/S0572329920010109
Название
статьи
Формирование градиентно-пористых структур кремния с вариативной морфологией пор
Автор(ы) Гостева Е.А. (Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия)
Рубцова К.И. (Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия, rubcova.karina@gmail.com)
Силина М.Д. (Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия, theinnercrow@yandex.ru)
Старков В.В. (Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия)
Коды статьи УДК 621.315.592
Аннотация

В работе представлены результаты экспериментов по формированию ГПК-вар структур с использованием электролитов на основе плавиковой кислоты (HF) в растворах этилового (C2H5OH) и изопропилового спирта (CH3CH(OH)CH3) при различных соотношениях компонентов. Экспериментально показано, что использование электролитов на основе CH3CH(OH)CH3 позволяет формировать ГПК-вар структуру с нанопористым слоем кремния, при этом полученный пористый слой не разрушается и пригоден для дальнейшего использования.

Ключевые слова градиентно-пористые вариативные структуры кремния, механическая прочность, анодное травление, диспропорционирование
Поступила
в редакцию
25 августа 2019После
доработки
02 сентября 2019Принята
к публикации
18 сентября 2019
Получить
полный текст
<< Предыдущая статья | Год 2020. Номер 1 | Следующая статья >>
Система OrphusЕсли Вы обнаружили опечатку или неточность на странице сайта, выделите её и нажмите Ctrl+Enter

119526 Москва, пр-т Вернадского, д. 101, корп. 1, комн. 246 (495) 434-35-38 mtt@ipmnet.ru https://mtt.ipmnet.ru
Учредители: Российская академия наук, Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского РАН
Свидетельство о регистрации СМИ ПИ № ФС77-82148 от 02 ноября 2021 г., выдано Федеральной службой по надзору в сфере связи, информационных технологий и массовых коммуникаций
© Изв. РАН. МТТ
webmaster
Rambler's Top100