 | | Механика твердого тела
Известия Российской академии наук | | Журнал основан
в январе 1966 года
Выходит 6 раз в год
ISSN 1026-3519 |
Архив номеров
Для архивных номеров (2007 г. и ранее)
полные тексты статей 
доступны для свободного просмотра и скачивания.
| Статей в базе данных сайта: | | 13288 |
| На русском (Изв. РАН. МТТ): | | 8164 |
| На английском (Mech. Solids): | | 5124 |
|
| << Предыдущая статья | Год 2020. Номер 1 | Следующая статья >> |
| Гостева Е.А., Рубцова К.И., Силина М.Д., Старков В.В. Формирование градиентно-пористых структур кремния с вариативной морфологией пор // Изв. РАН. МТТ. 2020. № 1. С. 124-129. |
| Год |
2020 |
Том |
|
Номер |
1 |
Страницы |
124-129 |
| DOI |
10.31857/S0572329920010109 |
Название
статьи |
Формирование градиентно-пористых структур кремния с вариативной морфологией пор |
| Автор(ы) |
Гостева Е.А. (Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия)
Рубцова К.И. (Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия, rubcova.karina@gmail.com)
Силина М.Д. (Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия, theinnercrow@yandex.ru)
Старков В.В. (Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия) |
| Коды статьи |
УДК 621.315.592 |
| Аннотация |
В работе представлены результаты экспериментов по формированию ГПК-вар структур с использованием электролитов на основе плавиковой кислоты (HF) в растворах этилового (C2H5OH) и изопропилового спирта (CH3CH(OH)CH3) при различных соотношениях компонентов. Экспериментально показано, что использование электролитов на основе CH3CH(OH)CH3 позволяет формировать ГПК-вар структуру с нанопористым слоем кремния, при этом полученный пористый слой не разрушается и пригоден для дальнейшего использования. |
| Ключевые слова |
градиентно-пористые вариативные структуры кремния, механическая прочность, анодное травление, диспропорционирование |
Поступила
в редакцию |
25 августа 2019 | После
доработки |
02 сентября 2019 | Принята
к публикации |
18 сентября 2019 |
Получить
полный текст |
|
| << Предыдущая статья | Год 2020. Номер 1 | Следующая статья >> |
|
 Если Вы обнаружили опечатку или неточность на странице сайта, выделите её и нажмите Ctrl+Enter
|
|
Русский
English