 | | Механика твердого тела
Известия Российской академии наук | | Журнал основан
в январе 1966 года
Выходит 6 раз в год
ISSN 1026-3519 |
Архив номеров
Для архивных номеров (2007 г. и ранее)
полные тексты статей 
доступны для свободного просмотра и скачивания.
| Статей в базе данных сайта: | | 13025 |
| На русском (Изв. РАН. МТТ): | | 8110 |
| На английском (Mech. Solids): | | 4915 |
|
| << Предыдущая статья | Год 2018. Номер 5 | Следующая статья >> |
| Гращенко А.С., Кукушкин С.А., Осипов А.В., Редьков А.В. Исследование физико-механических характеристик наномасштабных пленок методом наноиндентирования // Изв. РАН. МТТ. 2018. № 5. С. 5-14. |
| Год |
2018 |
Том |
|
Номер |
5 |
Страницы |
5-14 |
| DOI |
10.31857/S057232990002461-7 |
Название
статьи |
Исследование физико-механических характеристик наномасштабных пленок методом наноиндентирования |
| Автор(ы) |
Гращенко А.С. (Институт проблем машиноведения Российской академии наук, Санкт-Петербург)
Кукушкин С.А. (Институт проблем машиноведения Российской академии наук, Санкт-Петербург, sergey.a.kukushkin@gmail.com)
Осипов А.В. (Институт проблем машиноведения Российской академии наук, Санкт-Петербург)
Редьков А.В. (Институт проблем машиноведения Российской академии наук, Санкт-Петербург) |
| Коды статьи |
УДК 531 |
| Аннотация |
В настоящей работе приводится краткий обзор и оригинальные исследования упругопластических свойств наномасштабных и микромасштабных тонких плёнок на подложках. Исследования проводятся на примере широкозонных полупроводниковых плёнок, имеющих исключительно важное значение для современной микро-и-оптоэлектроники таких как: нитрид галлия, карбид кремния, оксид галлия, выращенных на кремниевых подложках. Основное внимание уделяется влиянию наномасштабности плёнок на методы анализа экспериментальных результатов по наноиндентированию. В частности, обсуждаются методы анализа двухслойных наномасштабных плёнок, а также плёнок анизотропных материалов. С помощью рамановских карт анализируется динамика упругих напряжений в области индентора. Рассмотрены основные методы моделирования упругопластических свойств плёнок методами квантовой химии и молекулярной динамики. |
| Ключевые слова |
наноиндентирование, наномасштабные плёнки, нитрид галлия, карбид кремния, оксид галлия, упругопластические свойства |
Поступила
в редакцию |
23 апреля 2018 |
Получить
полный текст |
|
| << Предыдущая статья | Год 2018. Номер 5 | Следующая статья >> |
|
 Если Вы обнаружили опечатку или неточность на странице сайта, выделите её и нажмите Ctrl+Enter
|
|
Русский
English 