Механика твердого тела (о журнале) Механика твердого тела
Известия Российской академии наук
 Журнал основан
в январе 1966 года
Выходит 6 раз в год
ISSN 0572-3299

Русский Русский  English English  О журнале | Номера | Для авторов | Редколлегия | Подписка | Контакты
 


ИПМех РАНХостинг предоставлен
Институтом проблем
механики 
им. А.Ю. Ишлинского РАН

Архив номеров

Для архивных номеров (2007 г. и ранее) полные тексты статей pdf доступны для свободного просмотра и скачивания.

Статей в базе данных сайта: 9179
На русском (Изв. РАН. МТТ): 6485
На английском (Mech. Solids): 2694

<< Предыдущая статья | Год 2022. Номер 5 | Следующая статья >>
Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Махиборода М.А. Исследование механических свойств тонкопленочных мембран из оксида и нитрида кремния // Изв. РАН. МТТ. 2022. № 5. С. 103-113.
Год 2022 Том   Номер 5 Страницы 103-113
DOI 10.31857/S0572329922050063
Название
статьи
Исследование механических свойств тонкопленочных мембран из оксида и нитрида кремния
Автор(ы) Дюжев Н.А. (Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия)
Гусев Е.Э. (Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия, bubbledouble@mail.ru)
Махиборода М.А. (Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия)
Коды статьи УДК 53.043
Аннотация

Изготовлены тонкопленочные мембраны из чередующихся слоев оксида и нитрида кремния по групповой технологии. Исследовано влияние количества составляющих мембрану слоев при сохранении ее толщины на величину механической прочности. Давление разрыва мембранной структуры диаметром 560 мкм изменяется в диапазоне от 0.9 до 1.65 атм для 30 образцов в зависимости от количества составляющих мембрану слоев. Механическая прочность структуры Si3N4/SiO2 изменяется от 10.5 до 19.2 ГПа. Показано, что область разрыва структуры локализована на границе мембрана/подложка.

Ключевые слова механическая прочность, мембраны, тонкие пленки, оксид кремния, нитрид кремния
Поступила
в редакцию
11 января 2022После
доработки
12 января 2022Принята
к публикации
13 января 2022
Получить
полный текст
https://www.elibrary.ru/contents.asp?titleid=7828
<< Предыдущая статья | Год 2022. Номер 5 | Следующая статья >>
Система OrphusЕсли Вы обнаружили опечатку или неточность на странице сайта, выделите её и нажмите Ctrl+Enter

119526 Москва, пр-т Вернадского, д. 101, корп. 1, комн. 246 (495) 434-35-38 mtt@ipmnet.ru https://mtt.ipmnet.ru
Учредители: Российская академия наук, Отделение энергетики, машиностроения, механики и процессов управления РАН, Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского РАН
Свидетельство о регистрации СМИ ПИ № ФС77-82148 от 02 ноября 2021 г., выдано Федеральной службой по надзору в сфере связи, информационных технологий и массовых коммуникаций
© Изв. РАН. МТТ
webmaster
Rambler's Top100