 | | Механика твердого тела
Известия Российской академии наук | | Журнал основан
в январе 1966 года
Выходит 6 раз в год
ISSN 1026-3519 |
Архив номеров
Для архивных номеров (2007 г. и ранее)
полные тексты статей 
доступны для свободного просмотра и скачивания.
| Статей в базе данных сайта: | | 12855 |
| На русском (Изв. РАН. МТТ): | | 8044 |
| На английском (Mech. Solids): | | 4811 |
|
| << Предыдущая статья | Год 2022. Номер 5 | Следующая статья >> |
| Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Махиборода М.А. Исследование механических свойств тонкопленочных мембран из оксида и нитрида кремния // Изв. РАН. МТТ. 2022. № 5. С. 103-113. |
| Год |
2022 |
Том |
|
Номер |
5 |
Страницы |
103-113 |
| DOI |
10.31857/S0572329922050063 |
Название
статьи |
Исследование механических свойств тонкопленочных мембран из оксида и нитрида кремния |
| Автор(ы) |
Дюжев Н.А. (Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия)
Гусев Е.Э. (Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия, bubbledouble@mail.ru)
Махиборода М.А. (Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия) |
| Коды статьи |
УДК 53.043 |
| Аннотация |
Изготовлены тонкопленочные мембраны из чередующихся слоев оксида и нитрида кремния по групповой технологии. Исследовано влияние количества составляющих мембрану слоев при сохранении ее толщины на величину механической прочности. Давление разрыва мембранной структуры диаметром 560 мкм изменяется в диапазоне от 0.9 до 1.65 атм для 30 образцов в зависимости от количества составляющих мембрану слоев. Механическая прочность структуры Si3N4/SiO2 изменяется от 10.5 до 19.2 ГПа. Показано, что область разрыва структуры локализована на границе мембрана/подложка. |
| Ключевые слова |
механическая прочность, мембраны, тонкие пленки, оксид кремния, нитрид кремния |
Поступила
в редакцию |
11 января 2022 | После
доработки |
12 января 2022 | Принята
к публикации |
13 января 2022 |
Получить
полный текст |
|
| << Предыдущая статья | Год 2022. Номер 5 | Следующая статья >> |
|
 Если Вы обнаружили опечатку или неточность на странице сайта, выделите её и нажмите Ctrl+Enter
|
|
Русский
English 