Архив номеров

Одной из актуальных задач механики является изучение закономерностей термомеханических процессов, влияющих на образование микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния как на стадии их выращивания из расплава основной промышленной технологией, именуемой методом Чохральского, так и при последующих технологиях термообработки вырезаемых из них пластин. Это требует разработки сопряженных термомеханических моделей как для системы расплавкристалл с учетом процесса кристаллизации, так и для всего объема теплового узла промышленных ростовых установок, чтобы с учетом рассчитанной "тепловой истории" выращивания конкретного монокристалла кремния по современным моделям дефектообразования определять закономерности процессов рекомбинации и переноса собственных точечных дефектов с их агломерацией в микродефекты в монокристаллическом кремнии. Данная статья представляет краткий обзор работ, выполненных в ИПМех РАН в этом направлении.