 | | Механика твердого тела
Известия Российской академии наук | | Журнал основан
в январе 1966 года
Выходит 6 раз в год
ISSN 1026-3519 |
Архив номеров
Для архивных номеров (2007 г. и ранее)
полные тексты статей 
доступны для свободного просмотра и скачивания.
| Статей в базе данных сайта: | | 13288 |
| На русском (Изв. РАН. МТТ): | | 8164 |
| На английском (Mech. Solids): | | 5124 |
|
| << Предыдущая статья | Год 2025. Номер 2 | Следующая статья >> |
| Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Фомичёв М.Ю., Иванин П.С., Кушнарев И.В., Беспалов В.А. Многофункциональная пластина-шаттл для обработки полупроводниковых пластин малого диаметра и ультратонких пластин // Изв. РАН. МТТ. 2025. № 2. С. 68-82. |
| Год |
2025 |
Том |
|
Номер |
2 |
Страницы |
68-82 |
| DOI |
10.31857/S1026351925020041 | EDN |
ANAPSX |
Название
статьи |
Многофункциональная пластина-шаттл для обработки полупроводниковых пластин малого диаметра и ультратонких пластин |
| Автор(ы) |
Дюжев Н.А. (Национальный исследовательский университет "МИЭТ")
Гусев Е.Э. (Национальный исследовательский университет "МИЭТ", bubbledouble@mail.ru)
Фомичёв М.Ю. (Национальный исследовательский университет "МИЭТ")
Иванин П.С. (Национальный исследовательский университет "МИЭТ")
Кушнарев И.В. (Национальный исследовательский университет "МИЭТ")
Беспалов В.А. (Национальный исследовательский университет "МИЭТ") |
| Коды статьи |
УДК 53.043 |
| Аннотация |
Впервые в России была проведена обработка пластины диаметром 100 мм с формированием отверстий для TSV структур на автоматизированном оборудовании для пластин диаметром 150 мм без перестройки установок. Для реализации данной технологии была разработана пластина-шаттл. Расчет надежности кремниевой пластины-шаттла был сделан на основе проведенных экспериментальных исследований механической прочности кремния. На основании полученных данных выполнен расчет толщины ультратонкой Si пластины, которая может быть без повреждения обработана в пластине-шаттле на установках с вакуумным столиком. |
| Ключевые слова |
микросборка, трехмерная интеграция, TSV, рельеф поверхности, фотолитография, ПХТ, временный бондинг |
Поступила
в редакцию |
02 сентября 2024 | После
доработки |
03 октября 2024 | Принята
к публикации |
05 октября 2024 |
Получить
полный текст |
|
| << Предыдущая статья | Год 2025. Номер 2 | Следующая статья >> |
|
 Если Вы обнаружили опечатку или неточность на странице сайта, выделите её и нажмите Ctrl+Enter
|
|
Русский
English