 | | Механика твердого тела
Известия Российской академии наук | | Журнал основан
в январе 1966 года
Выходит 6 раз в год
ISSN 1026-3519 |
Архив номеров
Для архивных номеров (2007 г. и ранее)
полные тексты статей 
доступны для свободного просмотра и скачивания.
| Статей в базе данных сайта: | | 12854 |
| На русском (Изв. РАН. МТТ): | | 8044 |
| На английском (Mech. Solids): | | 4810 |
|
| << Предыдущая статья | Год 2008. Номер 4 | Следующая статья >> |
| Гольдштейн Р.В., Козинцев В.М., Подлесных А.В., Попов А.Л., Челюбеев Д.А. Применение электронной спекл-интерферометрии для регистрации наноперемещений // Изв. РАН. МТТ. 2008. № 4. С. 166-175. |
| Год |
2008 |
Том |
|
Номер |
4 |
Страницы |
166-175 |
Название
статьи |
Применение электронной спекл-интерферометрии для регистрации наноперемещений |
| Автор(ы) |
Гольдштейн Р.В. (Москва)
Козинцев В.М. (Москва)
Подлесных А.В. (Москва)
Попов А.Л. (Москва)
Челюбеев Д.А. (Москва) |
| Коды статьи |
УДК 539.3 |
| Аннотация |
Развитие наномеханики и нанотехнологий предполагает создание адекватных измерительных средств перемещений наномасштабного диапазона. В статье предложено использование для этой цели метода и аппаратных средств электронной спекл-интерферометрии, имеющих ряд преимуществ перед другими известными средствами измерения. Изложена идея, на основании которой метод электронной спекл-интерферометрии, изначально рассчитанный на применение для измерения перемещений в субмикронном диапазоне, может быть использован и для измерений в сотни раз меньших перемещений - порядка 1 нанометра. Рассмотрено теоретическое обоснование этой идеи, программный алгоритм ее реализации, описана методика, тестовые образцы и результаты экспериментальной метрологической проверки возможности измерений перемещений наномасштабного диапазона на существующей модели электронного спекл-интерферометра. |
Список
литературы |
| 1. | Тодуа П.А., Быков В.А., Волк Ч.П., Горнее Е.С., Желкобаев Ж., Зыкин Л.М., Ишанов А.Б., Календин В.В., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Плотников Ю.И., Прохоров A.M., Раков А.В., Саунин С.А., Черняков В.Н. Метрологическое обеспечение измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах и их внедрение в микроэлектронику и нано-технологию // Микросистемная техника. 2004. № 1. С. 38-44. |
| 2. | Там же. № 2. С. 24-39. |
| 3. | Там же. № 3. С. 25-32. |
| 4. | Kim J.A., Kim J.W., Park B.C., Eom Т.В. Measurement of microscope calibration standards in na-nometrology using a metrological atomic force microscope // Meas. Sci. Technol. 2006. Vol. 17. P. 1792-1800. |
| 5. | Ignat M., Zarnescu G.C., Hamciuc E., Cazacu M. Interferometric Measurement Method for Nanoac-tuation of Polymeric Membranes / 3rd Workshop on Nanosci. Nanotechnologies. Thessaloniki, 2006. P.188. |
| 6. | Рябухо В.П. Спекл-интерферометрия // СОЖ. 2001. № 5. С. 102-109. |
| 7. | Тимошенко С.П. Теория упругости. М.-Л.: ГТТИ, 1934. 451 с. |
| 8. | Подлесных А.В., Попов А.Л., Козинцев В.М. Программа создания и анализа компьютерных интерферограмм // Фед. агентство по образ. Отрасл. фонд алгоритмов и программ. Свидет. об отрасл. регист. разработки № 5284 от 28.10.2005. 3 с. |
| 9. | Серебрянников М.Г., Первозванский А.А. Выявление скрытых периодичностей. М.: Наука, 1965. 244 с. |
| 10. | Дьяконов В.П. Maple 9.5/10 в математике, физике и образовании. М.: СОЛОН-Пресс, 2006. 720 с. |
| 11. | Гольдштейн Р.В., Козинцев В.М., Подлесных А.В., Попов А.Л., Челюбеев Д.А. Способ определения нормальных перемещений поверхности тела / РОСПАТЕНТ. Уведомл. о поступл. и регистр, заявки на изобр. Per. № 2007136810 от 05.10.07. 15 с. |
|
Поступила
в редакцию |
12 марта 2008 |
Получить
полный текст |
|
| << Предыдущая статья | Год 2008. Номер 4 | Следующая статья >> |
|
 Если Вы обнаружили опечатку или неточность на странице сайта, выделите её и нажмите Ctrl+Enter
|
|
Русский
English 