Механика твердого тела (о журнале) Механика твердого тела
Известия Российской академии наук
 Журнал основан
в январе 1966 года
Выходит 6 раз в год
ISSN 0572-3299

Русский Русский  English English  О журнале | Номера | Для авторов | Редколлегия | Подписка | Контакты
 


ИПМех РАНХостинг предоставлен
Институтом проблем
механики 
им. А.Ю. Ишлинского РАН

Архив номеров

Статей в базе данных сайта: 4725
На русском (Изв. РАН. МТТ): 2266
На английском (Mech. Solids): 2459

<< Предыдущая статья | Год 2020. Номер 5 | Следующая статья >>
Верезуб Н.А., Простомолотов А.И. Механика процессов выращивания и термообработки монокристаллического кремния // Изв. РАН. МТТ. 2020. № 5. С. 51-63.
Год 2020 Том   Номер 5 Страницы 51-63
DOI 10.31857/S0572329920040157
Название
статьи
Механика процессов выращивания и термообработки монокристаллического кремния
Автор(ы) Верезуб Н.А. (Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского РАН, Москва, Россия, verezub@ipmnet.ru)
Простомолотов А.И. (Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского РАН, Москва, Россия, prosto@ipmnet.ru)
Коды статьи УДК 531.3
Аннотация

Одной из актуальных задач механики является изучение закономерностей термомеханических процессов, влияющих на образование микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния как на стадии их выращивания из расплава основной промышленной технологией, именуемой методом Чохральского, так и при последующих технологиях термообработки вырезаемых из них пластин. Это требует разработки сопряженных термомеханических моделей как для системы расплавкристалл с учетом процесса кристаллизации, так и для всего объема теплового узла промышленных ростовых установок, чтобы с учетом рассчитанной "тепловой истории" выращивания конкретного монокристалла кремния по современным моделям дефектообразования определять закономерности процессов рекомбинации и переноса собственных точечных дефектов с их агломерацией в микродефекты в монокристаллическом кремнии. Данная статья представляет краткий обзор работ, выполненных в ИПМех РАН в этом направлении.

Ключевые слова выращивание монокристалла, кремний, метод Чохральского собственный точечный дефект, рекомбинация, микродефект, диффузия, моделирование, напряжение, деформация, термообработка, пластина
Поступила
в редакцию
21 января 2020После
доработки
19 февраля 2020Принята
к публикации
04 апреля 2020
Получить
полный текст
https://www.elibrary.ru/item.asp?id=43962135
<< Предыдущая статья | Год 2020. Номер 5 | Следующая статья >>
Система OrphusЕсли Вы обнаружили опечатку или неточность на странице сайта, выделите её и нажмите Ctrl+Enter

119526 Москва, пр-т Вернадского, д. 101, корп. 1, комн. 246 (495) 434-35-38 mtt@ipmnet.ru http://mtt.ipmnet.ru
Учредители: Российская академия наук, Отделение энергетики, машиностроения, механики и процессов управления РАН, ООО "Журналы по механике"
Свидетельство о регистрации СМИ № 0110261 выдано Министерством печати и информации Российской Федерации 08.02.1993 г.
© ООО "Журналы по механике"
webmaster
Rambler's Top100