Механика твердого тела (о журнале) Механика твердого тела
Известия Российской академии наук
 Журнал основан
в январе 1966 года
Выходит 6 раз в год
ISSN 0572-3299

Русский Русский  English English  О журнале | Номера | Для авторов | Редколлегия | Подписка | Контакты
 


ИПМех РАНХостинг предоставлен
Институтом проблем
механики 
им. А.Ю. Ишлинского РАН

Архив номеров

Статей в базе данных сайта: 3870
На русском (Изв. РАН. МТТ): 2203
На английском (Mech. Solids): 1667

<< Предыдущая статья | Год 2020. Номер 1 | Следующая статья >>
Гостева Е.А., Рубцова К.И., Силина М.Д., Старков В.В. Формирование градиентно-пористых структур кремния с вариативной морфологией пор // Изв. РАН. МТТ. 2020. № 1. С. 124-129.
Год 2020 Том   Номер 1 Страницы 124-129
DOI 10.31857/S0572329920010109
Название
статьи
Формирование градиентно-пористых структур кремния с вариативной морфологией пор
Автор(ы) Гостева Е.А. (Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия)
Рубцова К.И. (Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия, rubcova.karina@gmail.com)
Силина М.Д. (Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия, theinnercrow@yandex.ru)
Старков В.В. (Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия)
Коды статьи УДК 621.315.592
Аннотация

В работе представлены результаты экспериментов по формированию ГПК-вар структур с использованием электролитов на основе плавиковой кислоты (HF) в растворах этилового (C2H5OH) и изопропилового спирта (CH3CH(OH)CH3) при различных соотношениях компонентов. Экспериментально показано, что использование электролитов на основе CH3CH(OH)CH3 позволяет формировать ГПК-вар структуру с нанопористым слоем кремния, при этом полученный пористый слой не разрушается и пригоден для дальнейшего использования.

Ключевые слова градиентно-пористые вариативные структуры кремния, механическая прочность, анодное травление, диспропорционирование
Поступила
в редакцию
25 августа 2019
Получить
полный текст
https://elibrary.ru/contents.asp?titleid=7828
<< Предыдущая статья | Год 2020. Номер 1 | Следующая статья >>
Система OrphusЕсли Вы обнаружили опечатку или неточность на странице сайта, выделите её и нажмите Ctrl+Enter

119526 Москва, пр-т Вернадского, д. 101, корп. 1, комн. 246 (495) 434-35-38 mtt@ipmnet.ru http://mtt.ipmnet.ru
Учредители: Российская академия наук, Отделение энергетики, машиностроения, механики и процессов управления РАН, ООО "Журналы по механике"
Свидетельство о регистрации СМИ № 0110261 выдано Министерством печати и информации Российской Федерации 08.02.1993 г.
© ООО "Журналы по механике"
webmaster
Rambler's Top100