Механика твердого тела (о журнале) Механика твердого тела
Известия Российской академии наук
 Журнал основан
в январе 1966 года
Выходит 6 раз в год
ISSN 0572-3299

Русский Русский  English English  О журнале | Номера | Для авторов | Редколлегия | Подписка | Контакты
 


ИПМех РАНХостинг предоставлен
Институтом проблем
механики 
им. А.Ю. Ишлинского РАН

Архив номеров

Статей в базе данных сайта: 3824
На русском (Изв. РАН. МТТ): 2157
На английском (Mech. Solids): 1667

<< Предыдущая статья | Год 2008. Номер 4 | Следующая статья >>
Гольдштейн Р.В., Козинцев В.М., Подлесных А.В., Попов А.Л., Челюбеев Д.А. Применение электронной спекл-интерферометрии для регистрации наноперемещений // Изв. РАН. МТТ. 2008. № 4. С. 166-175.
Год 2008 Том   Номер 4 Страницы 166-175
Название
статьи
Применение электронной спекл-интерферометрии для регистрации наноперемещений
Автор(ы) Гольдштейн Р.В. (Москва)
Козинцев В.М. (Москва)
Подлесных А.В. (Москва)
Попов А.Л. (Москва)
Челюбеев Д.А. (Москва)
Коды статьи УДК 539.3
Аннотация

Развитие наномеханики и нанотехнологий предполагает создание адекватных измерительных средств перемещений наномасштабного диапазона. В статье предложено использование для этой цели метода и аппаратных средств электронной спекл-интерферометрии, имеющих ряд преимуществ перед другими известными средствами измерения. Изложена идея, на основании которой метод электронной спекл-интерферометрии, изначально рассчитанный на применение для измерения перемещений в субмикронном диапазоне, может быть использован и для измерений в сотни раз меньших перемещений - порядка 1 нанометра. Рассмотрено теоретическое обоснование этой идеи, программный алгоритм ее реализации, описана методика, тестовые образцы и результаты экспериментальной метрологической проверки возможности измерений перемещений наномасштабного диапазона на существующей модели электронного спекл-интерферометра.

Список
литературы
1.  Тодуа П.А., Быков В.А., Волк Ч.П., Горнее Е.С., Желкобаев Ж., Зыкин Л.М., Ишанов А.Б., Календин В.В., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Плотников Ю.И., Прохоров A.M., Раков А.В., Саунин С.А., Черняков В.Н. Метрологическое обеспечение измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах и их внедрение в микроэлектронику и нано-технологию // Микросистемная техника. 2004. № 1. С. 38-44.
2.  Там же. № 2. С. 24-39.
3.  Там же. № 3. С. 25-32.
4.  Kim J.A., Kim J.W., Park B.C., Eom Т.В. Measurement of microscope calibration standards in na-nometrology using a metrological atomic force microscope // Meas. Sci. Technol. 2006. Vol. 17. P. 1792-1800.
5.  Ignat M., Zarnescu G.C., Hamciuc E., Cazacu M. Interferometric Measurement Method for Nanoac-tuation of Polymeric Membranes / 3rd Workshop on Nanosci. Nanotechnologies. Thessaloniki, 2006. P.188.
6.  Рябухо В.П. Спекл-интерферометрия // СОЖ. 2001. № 5. С. 102-109.
7.  Тимошенко С.П. Теория упругости. М.-Л.: ГТТИ, 1934. 451 с.
8.  Подлесных А.В., Попов А.Л., Козинцев В.М. Программа создания и анализа компьютерных интерферограмм // Фед. агентство по образ. Отрасл. фонд алгоритмов и программ. Свидет. об отрасл. регист. разработки № 5284 от 28.10.2005. 3 с.
9.  Серебрянников М.Г., Первозванский А.А. Выявление скрытых периодичностей. М.: Наука, 1965. 244 с.
10.  Дьяконов В.П. Maple 9.5/10 в математике, физике и образовании. М.: СОЛОН-Пресс, 2006. 720 с.
11.  Гольдштейн Р.В., Козинцев В.М., Подлесных А.В., Попов А.Л., Челюбеев Д.А. Способ определения нормальных перемещений поверхности тела / РОСПАТЕНТ. Уведомл. о поступл. и регистр, заявки на изобр. Per. № 2007136810 от 05.10.07. 15 с.
Поступила
в редакцию
12 марта 2008
Получить
полный текст
http://elibrary.ru/item.asp?id=11137186
<< Предыдущая статья | Год 2008. Номер 4 | Следующая статья >>
Система OrphusЕсли Вы обнаружили опечатку или неточность на странице сайта, выделите её и нажмите Ctrl+Enter

119526 Москва, пр-т Вернадского, д. 101, корп. 1, комн. 246 (495) 434-35-38 mtt@ipmnet.ru http://mtt.ipmnet.ru
Учредители: Российская академия наук, Отделение энергетики, машиностроения, механики и процессов управления РАН, ООО "Журналы по механике"
Свидетельство о регистрации СМИ № 0110261 выдано Министерством печати и информации Российской Федерации 08.02.1993 г.
© ООО "Журналы по механике"
webmaster
Rambler's Top100